Ultrasoon spuitcoatingsysteem van polyimide en fotoresist met micromondstuk

 

 

Het is bewezen dat het ultrasone spuitsysteem geschikt is voor verschillende toepassingen die uniforme, herhaalbare fotoresist- of polyimidefilmcoatings vereisen, en is een eenvoudig, economisch en reproduceerbaar fotoresist- en polyimidecoatingproces.
Veel voorkomende toepassingen van ultrasone polyimide- en fotoresistcoatings omvatten, maar zijn niet beperkt tot, MEMS, lenzen, microfluïdische apparaten, micro-elektronica en filters. Coatingsystemen zijn in staat vlakke en 3D-substraten te coaten, waaronder doorgaans siliciumchips, glas, keramiek en metalen.

 

 

 

 

 

Ultrasoon mondstuk is een afstemapparaat gebaseerd op specifieke frequentieresonantie. Hun maximale lengte en diameter zijn omgekeerd evenredig met de resonantiefrequentie, met een frequentiebereik tussen 25 en 120 kHz; Dat wil zeggen, hoe hoger de ultrasone frequentie, hoe kleiner de transducer, en de gemiddelde druppelgrootte die wordt gegenereerd door verstuiververneveling zal ook afnemen.

Het ultrasone mondstuk bestaat uit verschillende onderdelen. De aandrijfcomponent omvat een paar piëzo-elektrische transducers die elektrische energie omzetten in mechanische beweging. De hoogfrequente stroomvoorziening komt van een afzonderlijke generator die zich kan afstemmen op de resonantiefrequentie van het mondstuk. De transducer bevindt zich tussen twee titaniumcilinders, die de trillingsbeweging van de transducer versterken om het effect op het vernevelingsoppervlak te maximaliseren. We kozen voor titanium als materiaal omdat het een hoge treksterkte, goede akoestische eigenschappen en uitstekende corrosieweerstand heeft.

De vloeistof wordt naar het vernevelingsoppervlak getransporteerd via een kanaal met grote-diameter over de gehele lengte van het mondstuk. Zodra de vloeistof het vernevelingsoppervlak bereikt, zal deze trillingen met een hoge amplitude tegenkomen die de vloeistof in kleine druppeltjes opsplitsen die met lage snelheden (minder dan 7,5 cm/seconde) bewegen. Om dit effect te bereiken moet de kracht van de applicatie binnen een relatief smal venster worden gehouden. Een te laag vermogen zal ervoor zorgen dat het mondstuk stopt met werken, dat wil zeggen dat verneveling nu niet zal plaatsvinden; Als de elektriciteit te hoog is, wordt de vloeistof in massieve stukken gescheurd, wat niet langer geschikt is voor het vernevelen van spray. Meestal varieert de lopende elektriciteit van het mondstuk tussen 1 en 15 watt, afhankelijk van de precieze grafiek en de kenmerken van de versproeide vloeistof.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Populaire tags: polyimide en fotoresist ultrasoon spuitcoatingsysteem met micro-nozzle, China polyimide en fotoresist ultrasoon spuitcoatingsysteem met micro-nozzle fabrikanten, leveranciers, fabriek