Ultrasone spuittechnologie voor vacuümdampafzetting
Het ultrasone atomisatiespuitsysteem wordt gebruikt voor integratie in een vacuümkamer. Door experimenten is bewezen dat het unieke ultrasone atomisatiespuitsysteemontwerp kan worden geïntegreerd in een vacuümafdicht platform, geschikt voor toepassingen zoals polymeerdampafzetting (PVD) en metaal organische chemische dampafzetting (MOCVD). De karakteristieke lage-snelheidsatomisatie die wordt gegenereerd door het ultrasone atomisatiespuitsysteem kan een dampwolk produceren met strakke druppelverdeling en frequentiegrootte. Vanwege het feit dat ultrasone atomiserende spuitmondstukken werken door hoogfrequente geluidsgolven om te zetten in mechanische trillingen, wordt de vloeistof in contact met het mondstukoppervlak verstevigd zonder lucht of gas toe te voegen, dus de integriteit van de vacuümkamer is niet verzwakt tijdens het spuitproces.
De ultrasone generatortechnologie die is geïntegreerd in het ultrasone atomisatiespuitsysteem biedt de nodige elektrische energie voor verstuiver en is uitgerust met geavanceerde belastingsbalanceringsfunctie, die zich automatisch kan aanpassen om zich aan te passen aan verschillende vacuümomstandigheden, waardoor de meest stabiele spuitkenmerken tijdens het vacuümafzettingsproces worden gehandhaafd.
Het ultrasone atomisatiespuitsysteem is geschikt voor vacuümomgevingen op hoge temperatuur en heeft koelcapaciteit en temperatuurbewakingsfunctie om de juiste thermische bescherming te garanderen.
Voordelen van de toepassing van vacuümkamer:
- Elektronische apparaten ontworpen voor load balancing
- Bescherming en monitoring van hoge temperatuur
- Unieke vacuümconditie vloeistofstroombeperkingontwerp
- Atomisatie wordt gegenereerd in afwezigheid van lucht/gas, waardoor de vacuümintegriteit wordt gehandhaafd
